第(3/3)页 从华芯国际生产车间中偷偷摸出来的光刻机,是193nmarf光源的干式光刻机,生产的半导体工艺节点最多可以达到45/40nm。 但阿斯麦尔采用的浸没式技术,和激进的可制造性设计(dfm)等技术后,可以将工艺制程迈进22nm以内,甚至通过多重曝光等技术,可以达7nm的工艺! 7nm,那已经相当于江成前世用的麒麟980、985的技术。 至于技术,其实也并不复杂。 通过在原有的193nm光刻机系统当中增加浸没单元,利用超纯水替换透镜和晶圆表面之间的空气间隙。 因为超纯水在193nm波长时的与空气的折射率1.44:1,故而让光源进入后波长缩短,从而提升光刻分辨率。 不过超纯水这些东西,江成并不确定自己能否模拟出来。 体内电脑模拟的出来的,主要是电子设备或是能够运行电子的材料。 其他塑料、非金属材料,更多是模了一个样子,并没有实际用处。 江成尝试了一下,将手指伸到自来水处。 释放生物电流。 然而,没有任何反应。 江成估计超纯水这样的液体,也无法进行模拟。 但江成却又有了想法。 超纯水咱搞不了,但在体内电脑里头,咱们的权限是超级大的啊! 这可不像是在外界的实体设备,无法轻易调整。 江成可以自由调整和修改各类材料、各类电路。 甚至光刻机的光源激发设备,江成也觉得可以尝试一下调整调整嘛。 谁让你模拟进来实验室了呢? 在这实验室里头,所有的东西都是模拟出来的,一切由江成做主。 不就是要降波长嘛,就是没有超纯水,咱也照样盘他! 第(3/3)页